Draaizuigerblowers Vacuümblower
Busmotorblower – HM-serie

AERZEN busmotorvacuümblowers zijn een type verdringerblowers met een hermetisch gesloten aandrijving, ideaal voor het transport van agressieve en neutrale gassen. Deze vacuümsystemen zijn nuttig in industriële hoogvacuümtechnologie vanwege hun hoge vermogen, betrouwbaarheid en efficiëntie.

Volumestroom:
406 tot 15,570 m³/h

Vacuüm:
10^-5 tot 0 mbar

Medium:
Lucht, Neutrale gassen, Agressieve gassen

Transport:
Olievrij

De voordelen van AERZEN busmotorblowers in één oogopslag:

Uitstekende variëteit met vier motorvarianten
Zeer flexibele vacuümcomponenten met verticale en horizontale stroomrichting
Pompen met hoge mechanische sterkte (tot 230 mbar in het geval van HM)
Laag stikstof- en waterverbruik
Kortere afpomptijden

Contact opnemen met ons

Neutrale of agressieve gassen? AERZEN biedt oplossingen voor beide!

AERZEN vacuümblowers met hermetisch gesloten aandrijving (HM) zijn ontworpen voor het transporteren van neutrale en agressieve gassen en vinden met name toepassing in industriële hoogvacuümtechnologie. Vacuümblowers werken altijd in combinatie met een voorpomp*.

De voorpomp begint te werken op atmosfeerdruk. De vacuümpompen zijn typisch verbonden op ca. 50 tot 200 mbar, waarna het afpompproces begint. Afhankelijk van de toepassing worden vloeistofringpompen, schottenvacuümpompen of schroefvacuümpompen gebruikt als de voorpomp. Indien geleverd met AERZEN frequentieomvormers en speciale sets van parameters, is werking met de voorpomp, beginnend op atmosfeerdruk, ook mogelijk.

Toepassingen

Halfgeleiderindustrie
Micro-elektronica
Productie van flatscreens
Lasertechnologie
Zonnetechnologie
Lekdetectie-aggregaten voor helium
Chemische procestechniek
Folie- en glascoating
Productie van smeltovens
Afvoer van waterstof

*Een bijkomende voorpomp (HM-aandrijving) is altijd vereist bij gebruik van een AERZEN vacuümpomp met busmotoraandrijving.

US Units

Type bouw: Draaizuigerblowers
Vacuüm: 10^-5 tot 0 mbar
Volumestroom: 406 tot 15,570 m³/h
Medium: Lucht, Neutrale gassen, Agressieve gassen
Transport: Olievrij

Draaizuigerblower voor industriële hoogvacuümtechnologie

AERZEN vacuümblowers met hermetisch gesloten aandrijving (HM) zijn ontworpen voor het transporteren van neutrale en agressieve gassen en worden gebruikt in industriële hoogvacuümtechnologie. Overtuigende efficiëntie en hoge betrouwbaarheid zijn kenmerkend voor deze serie.

HM-versie voor neutrale en agressieve gassen:

Met 10 maten van type HM dekt AERZEN ook de theoretische aanzuigvolumestroom van 406 m³/h tot 15.570 m³/h. De voordelen in één oogopslag:

Optimale keuzemogelijkheden dankzij 4 verschillende motorvarianten
Hoge en dus aanzienlijke verkorting van de afpomptijden
Geschikt voor toepassing onder cleanroomcondities
Groot regelbereik door middel van een frequentieomvormer met beproefde parameters, afgestemd op de AERZEN vacuümpompen
Verticale en horizontale stroomrichting mogelijk

De reden waarom fabricageprocessen geoptimaliseerd worden door een hoog drukverschil.

AERZEN vacuümpompen met HM-aandrijving verminderen de afpomptijd aanzienlijk, wat leidt tot een toename van de productiecapaciteit. Dit is een grote stap voorwaarts in procesoptimalisatie.

Ontwerp en constructie

AERZEN vacuümpompen met HM-aandrijving worden voorzien van O-ringafdichtingen aan de behuizingsflenzen. Andere belangrijke voordelen van de blowertrap zijn vacuümdichtheid en luchtkoeling. Smeerolie wordt toegevoerd door spatsmering. Minerale olie en PFPE-olie, die gewoonlijk gebruikt wordt in de halfgeleidertechnologie, kunnen gebruikt worden als smeermiddel. Deze vacuümpompen zijn uitgerust met een speciale rechthoekige ring-labyrint-afdichting tussen de pompkamer en de lagerkamer. Bovendien is een ruim gedimensioneerde neutrale kamer met condensaatkanalen geïnstalleerd. Optioneel kan de neutrale kamer worden gespoeld met afdichtgas om een verhoogd afdichteffect te bereiken. De hermetisch afgesloten aandrijving zorgt voor de afdichting van de aandrijfas. Een asdoorgang naar atmosfeer kan daarom weggelaten worden, wat het technisch mogelijk maakt om significant hogere rotatiesnelheden te bereiken.