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Positive Displacement Blowers Surpresseur pour application en vide
Surpresseur à moteur à bride - Série HM

Les surpresseurs à moteur à bride d’AERZEN sont un type de surpresseur à pistons rotatifs doté d'un entraînement hermétique, idéal pour le transport de gaz agressifs et neutres. Ces systèmes de vide sont utiles dans la technologie industrielle du vide poussé (technique du vide élevé) en raison de leur puissance, de leur fiabilité et de leur efficacité.

Débit:
406 à 15.570 m³/h

Vide:
10^-5 à 0 mbar

Fluide à véhiculer:
Air, Gaz neutres, Gaz agressifs

Transport:
exempt d'huile.

Les avantages des surpresseurs à moteur à bride d’AERZEN en un coup d'œil :

Excellente variété avec quatre variantes de moteurs
Composants de vide très flexibles avec un sens d'écoulement vertical et horizontal
Pompes à haute résistance mécanique (jusqu'à 230 mbars dans le cas de la série HM)
Faible consommation d'azote et d'eau
Réduction des temps d'arrêt du pompage

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Gaz neutres ou agressifs ? AERZEN propose des solutions pour les deux !

Les surpresseurs à vide AERZEN avec entraînement hermétique (HM) sont conçus pour véhiculer des gaz neutres et agressifs et trouvent une application spéciale dans la technologie industrielle du vide poussé (ou technique du vide élevé). Les surpresseurs pour application en vide fonctionnent en association avec une pompe à vide préliminaire.

Cette pompe de secours commence à fonctionner dans l’atmosphère. Les pompes à vide sont habituellement raccordés à environ 50 à 200 mbars et la procédure de pompage commence. En fonction de l’application, on utilise, des pompes à anneau liquide, des pompes à vide à palettes, des pompes à vide à vis comme pompe à vide préliminaire. Lorsqu’elles sont fournies avec des convertisseurs de fréquence AERZEN et des jeux de paramètres spéciaux, des pompes à vide préliminaire démarrant avec la pression atmosphérique peuvent aussi être utilisées.

Applications

Industrie des semi-conducteurs
Micro-électronique
Production d’écrans plats
Technologie laser
Technologie solaire
Unités de détection de fuites d’hélium
Technologie de traitement chimique
Revêtement par feuille et verre
Fabrication de fours de fusion
Évacuation de l’azote

*Une pompe à vide préliminaire (entraînement HM) est toujours nécessaire lorsque l’on utilise un surpresseur pour application en vide AERZEN avec entraînement à bride.

US Units

Type de conception: Positive Displacement Blowers
Vide: 10^-5 à 0 mbar
Débit: 406 à 15.570 m³/h
Fluide à véhiculer: Air, Gaz neutres, Gaz agressifs
Transport: exempt d'huile.

Surpresseur à pistons rotatifs pour la technologie industrielle du vide poussé (technique du vide élevé)

Les surpresseurs pour application en vide d’AERZEN avec entraînement hermétique (HM) sont conçus pour véhiculer des gaz neutres et agressifs et sont utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé (ou technique du vide élevé). Cette série se caractérise par des rendements convaincants et une grande fiabilité.

Version HM pour les gaz neutres et agressifs :

Avec 10 tailles de type HM, AERZEN couvre également le débit volumique aspiré théorique de 406 m³/h à 15 570 m³/h. Les avantages en un coup d’œil :

Des possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
Réduction considérable des temps d'arrêt du pompage
Convient pour une application dans des conditions de salle blanche
Grande plage de contrôle grâce à un convertisseur de fréquence avec des paramètres avérés, réglés pour les pompes à vide d’AERZEN
Sens du débit vertical et horizontal possibles

La raison pour laquelle les processus de fabrication sont fortement optimisés grâce à un delta p élevé.

Les pompes à vide d’AERZEN avec entraînement HM réduisent de façon importante la durée d’arrêt de la pompe, ce qui conduit à une augmentation du ratio de production. C’est un grand pas vers l’optimisation des processus.

Conception et fabrication

Les pompes à vide d’AERZEN avec entraînement HM sont fournis avec des joints toriques sur les brides du boîtier. Les autres avantages principaux du surpresseur sont l’étanchéité au vide et le refroidissement par air. La lubrification est de type barbotage. De l’huile minérale peut être utilisée comme lubrifiant ainsi que de l’huile PFPE, généralement utilisée dans la technologie des semi-conducteurs. Ces pompes à vide sont équipées d’un joint-labyrinthe à bague rectangulaire spécial entre la chambre de compression et la chambre des roulements. Une chambre neutre largement dimensionnée avec des canaux de condensation est également installée. En option, la chambre neutre peut être purgée avec du gaz d’étanchéité, afin d’obtenir un meilleur effet d’étanchéité. L'entraînement hermétique assure l'étanchéité de l'arbre d'entraînement. Un passage de l’arbre vers l’atmosphère peut donc être évité, ce qui rend possible l’obtention d’une vitesse de rotation bien plus élevée.