Positive Displacement Blowers
真空泵
HM 系列密闭式电机鼓风机
AERZEN 密闭式电机真空泵是一种正排量鼓风机，配有密封驱动装置，是输送腐蚀性气体和中性气体的理想设备。 由于功率大、可靠性高、效率卓越，该系列真空系统在工业高真空技术中非常实用。
體積流量:
406
to
15.570
（单位：m3/h)
真空:
10^-5
to
0
（单位：mbar)
介質:
空气,
中性气体,
腐蚀性气体
輸送:
無油式
AERZEN 密闭式电机鼓风机优势一览：
- 四种电机型号，多样性出色
- 真空元件灵活性高，可选择纵向或水平流动方向
- 机械强度高（HM 系列最高可达 230 mbar）
- 氮气和水的消耗量低
- 缩短了抽真空时间
中性气体还是腐蚀性气体？ AERZEN 解决方案对两者均适用！
配有密闭式驱动装置 (HM) 的 AERZEN 真空泵设计用于输送中性气体和腐蚀性气体，尤其适合于工业高真空技术领域的特殊应用。 真空泵务必要与前级泵组合使用*。
该前级泵在大气压力条件下启动。 而真空泵通常在约 50 至 200 mbar 时接入，然后开始抽真空流程。 视应用不同，还可将液环泵、旋片式真空泵或螺杆真空泵用作前级泵。 当配备 AERZEN 变频器并设定一组特殊参数时，也可与前级泵一起在大气压力条件下运行。
应用
- 半导体行业
- 微电子工业
- 平面屏幕制造
- 激光技术
- 太阳能技术
- 氦气检漏装置
- 化学工艺技术
- 箔纸和玻璃镀膜
- 熔炉制造
- 提氢
*当使用配有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空泵时，务必另配一台前级泵（HM 驱动式）。
US Units
No- 結構形式
- Positive Displacement Blowers
- 真空
- 10^-5 to 0 （单位：mbar)
- 體積流量
- 406 to 15.570 （单位：m3/h)
- 介質
- 空气, 中性气体, 腐蚀性气体
- 輸送
- 無油式
用于工业高真空技术的正排量鼓风机
配有密闭式驱动装置 (HM) 的 AERZEN 真空泵设计用于输送中性气体和腐蚀性气体，尤其适合于工业高真空技术领域。 此系列产品具有输送能效和可靠性高的特点。
适用于中性气体和腐蚀性气体的 HM 系列：
AERZEN HM 系列共有 10 种规格，理论进气量从 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 优势一览：
- 通过 4 种型号的电机优化选择方案
- 机械强度高，因而大幅缩短抽真空时间
- 适合于要求达到洁净室标准的应用
- 借助变频器获得大控制范围，各项参数针对 AERZEN 真空泵进行过调整，卓有成效
- 可选择纵向或水平流动方向
通过高压力差优化制造工艺的原因所在。
配有 HM 驱动装置的 AERZEN 真空泵可大幅缩短抽真空时间，从而提高产出比。 这是我们向工艺优化迈出的一大步。
设计与结构
配有 HM 驱动装置的 AERZEN 真空泵的壳体法兰处安装了 O 形圈密封件。 真空密闭和风冷也是鼓风机机头的另一大优势。 由溅油润滑装置提供润滑油。 矿物油和 PFPE 油都可以作为润滑剂使用，后者常用于半导体技术。 这类真空泵在输送室和轴承室内均配有专用的矩形环状迷宫密封件。 另外，还安装了一个配有冷凝通道的大尺寸中和室。 中和室可以用密封气体冲洗，以增强密封效果。 密闭式驱动装置确保驱动轴的密封。 因此无需连接大气的轴通道，从而可以从技术上实现转速的大幅提升。
