Drehkolbengebläse
Vakuumgebläse
Spaltrohrgebläse – Baureihe HM
AERZEN Spaltrohrmotor-Vakuumgebläse sind Verdrängungsgebläse mit hermetisch geschlossenem Antrieb und eignen sich für die Förderung von aggressiven und neutralen Gasen. Diese Vakuumsysteme sind in der industriellen Hochvakuumtechnik aufgrund ihrer hohen Leistung, Zuverlässigkeit und Effizienz von großem Nutzen.
Volumenstrom:
406
bis
15,570
m3/h
Vakuum:
10^-5
bis
0
mbar
Fördermedium:
Luft,
Neutrale Gase,
Aggressive Gase
Förderung:
öl-frei
Die Vorteile von AERZEN Spaltrohrgebläsen auf einen Blick:
- Große Vielfalt mit vier Motorvarianten
- Hochflexible Vakuumkomponenten mit vertikaler und horizontaler Durchflussrichtung
- Pumpen mit hoher mechanischer Festigkeit (bis zu 230 mbar bei HM)
- Geringe Wasser-, Stickstoffverbräuche
- Reduzierte Abpumpzeiten
Neutrale oder agressive Gase? AERZEN bietet Lösungen für beide!
AERZEN Vakuumgebläse mit hermetisch gekapseltem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und finden besondere Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Vakuumgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.
Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre. Die Vakuumpumpe wird klassisch bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen oder auch Schraubenvakuumpumpen zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.
Anwendungen:
- Halbleiterindustrie
- Mikroelektronik
- Herstellung von Flachbildschirmen
- Lasertechnologie
- Solartechnik
- Helium-Lecksuchanlagen
- Chemie- und Verfahrenstechnik
- Folien- und Glasbeschichtung
- Schmelzofenbau
- Evakuierung von Wasserstoff
*Beim Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit Spaltrohrantrieb ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (HM-Antrieb) erforderlich.
US-Maßeinheiten
Nein- Bauart
- Drehkolbengebläse
- Vakuum
- 10^-5 bis 0 mbar
- Volumenstrom
- 406 bis 15,570 m3/h
- Fördermedium
- Luft, Neutrale Gase, Aggressive Gase
- Förderung
- öl-frei
Drehkolbengebläse für die industrielle Hochvakuumtechnik
AERZEN Vakuumgebläse mit hermetisch gekapseltem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und werden in der industriellen Hochvakuumtechnik eingesetzt. Überzeugende Wirkungsgrade und hohe Zuverlässigkeit kennzeichnen diese Baureihe.
HM-Ausführung für neutrale und aggressive Gase:
Mit 10 Baugrößen der Baureihe HM deckt AERZEN auch den theoretischen Ansaugvolumenstrom von 406 m³/h bis 15.570 m³/h ab. Die Vorteile auf einen Blick:
- Optimale Auswahlmöglichkeiten durch 4 Motorvarianten
- Hohe und damit erhebliche Reduzierung der Abpumpzeiten
- Für den Einsatz unter Reinraumbedingungen geeignet
- Großer Regelbereich durch Frequenzumrichter mit bewährten, auf die AERZEN Vakuumpumpen abgestimmten Parametern
- Vertikale und horizontale Durchflussrichtung möglich
Warum ein hohes Delta P Herstellungsprozesse optimiert.
Mit den AERZEN Vakuumgebläsen mit HM Antrieb wird durch die signifikante Verringerung der Abpumpzeit eine Erhöhung des Ausbringungsgrades in der Fertigung erreicht. Dies ist ein großer Schritt zur Prozessoptimierung.
Konstruktion und Aufbau
AERZEN Vakuumpumpen mit HM-Antrieb sind mit O-Ring-Dichtungen an den Gehäuseflanschen ausgestattet. Weitere wichtige Vorteile der Gebläsestufe sind Vakuumdichtigkeit und Luftkühlung. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchschmierung. Als Schmierstoff können Mineralöl oder auch das in der Halbleitertechnik übliche PFPE-Öl eingesetzt werden. Diese Gebläse sind mit einer speziellen Rechteckring-Labyrinth-Abdichtung zwischen Förderraum und Lagerräumen ausgerüstet. Zusätzlich ist ein reichlich dimensionierter neutraler Raum mit Kondensatkanälen eingebaut. Optional lässt sich der neutrale Raum mit Sperrgas beaufschlagen, um eine erhöhte Sperrwirkung zu erzielen. Der hermetisch gekapselte Antrieb gewährleistet die Abdichtung der Antriebswelle. Ein Wellendurchgang zur Atmosphäre kann daher entfallen, wodurch technisch deutlich höhere Drehzahlen möglich werden.
