Soffiatori con motore incapsulato GM8000

Soffiatori con motore incapsulato GM8000, vista laterale

Soffiatori con motore incapsulato GM8000, vista posteriore

Soffiatori a lobi Soffiatore per vuoto
Soffiatore con motore incapsulato- serie HM

I soffiatori per vuoto con motore incapsulato AERZEN sono un tipo di soffiatori a lobi con accoppiamento ermetico, ideale per il trasporto di gas aggressivi e neutri. Questi sistemi per vuoto sono utili nella tecnologia dell'alto vuoto industriale grazie alla loro elevata potenza, affidabilità ed efficienza.

Portata:
406 - 15,570 m³/h

Vuoto:
10^-5 - 0 mbar

Mezzo aspirato:
Aria, Gas neutri, Gas aggressivi

Funzionamento:
oil-free

Vantaggi dei soffiatori con motore incapsulato AERZEN:

Eccellente varietà con quattro versioni di motore
Componenti per il vuoto altamente flessibili con direzione del flusso verticale e orizzontale
Pompe ad alta resistenza meccanica (fino a 230 mbar per la versione HM)
Basso consumo di azoto e acqua
Riduzione dei tempi di svuotamento

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Gas neutri o aggressivi? AERZEN offre soluzioni per entrambi!

I soffiatori per vuoto AERZEN con accoppiamento ermetico (HM) sono progettati per il trasporto di gas neutri e aggressivi e trovano particolare applicazione nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. I soffiatori per vuoto operano sempre in combinazione con una pompa ausiliaria*.

La pompa ausiliaria inizia a operare in atmosfera. Le pompe per vuoto vengono avviate a circa 50-200 mbar e la procedura di pompaggio inizia. A seconda dell'applicazione, come pompe ausiliarie vengono utilizzate pompe ad anello liquido, pompe per vuoto a palette a olio o pompe per vuoto a vite. Se sono provviste di inverter AERZEN e set di parametri speciali, è possibile utilizzare la pompa ausiliaria già a partire dalla pressione atmosferica.

Applicazioni

Industria dei semiconduttori
Microelettronica
Produzione di schermi piatti
Tecnologia laser
Tecnologia solare
Indicatori di perdite di elio
Tecnologia chimica e di processo
Rivestimento di vetro e lamine
Costruzione di forni fusori
Evacuazione dell'idrogeno

*In caso di utilizzo di soffiatore per vuoto AERZEN con motore incapsulato, è sempre necessaria una pompa ausiliaria aggiuntiva (azionamento HM).

US Units

Tecnologia: Soffiatori a lobi
Vuoto: 10^-5 - 0 mbar
Portata: 406 - 15,570 m³/h
Mezzo aspirato: Aria, Gas neutri, Gas aggressivi
Funzionamento: oil-free

Soffiatore a lobi per la tecnologia dell'alto vuoto industriale

I soffiatori per vuoto AERZEN con accoppiamento ermetico (HM) sono progettati per il trasporto di gas neutri e aggressivi e sono utilizzati nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. Questa serie è caratterizzata da un elevato livello di affidabilità ed efficienza.

Versione HM per gas neutri e aggressivi:

con 10 misure nella versione HM, AERZEN copre anche la portata teorica in aspirazione compresa tra 406 m³/h e 15.570 m³/h. Panoramica dei vantaggi:

Possibilità di scelta ottimale tra 4 diverse varianti di motore
Elevata riduzione dei tempi di svuotamento
Ideale per applicazioni in condizioni di camera bianca
Ampio range di regolazione per mezzo di inverter, con parametri comprovati e adatti alle pompe per vuoto AERZEN
Possibilità di direzione del flusso verticale e orizzontale

La ragione per cui i processi di produzione vengono ottimizzati da un elevato delta p.

I soffiatori AERZEN con azionamento HM riducono notevolmente i tempi di svuotamento, ottenendo così un aumento della capacità produttiva. Un grande passo verso l'ottimizzazione dei processi.

Progettazione e fabbricazione

Le pompe per vuoto AERZEN sono provviste di guarnizioni O-ring in corrispondenza delle flange del cilindro. Ulteriori importanti vantaggi dello stadio sono la perfetta tenuta in vuoto e il raffreddamento ad aria. La lubrificazione è del tipo a sbattimento. Come lubrificanti è possibile utilizzare olio minerale e olio PFPE, normalmente utilizzato nella tecnologia dei semiconduttori. Queste pompe per vuoto sono provviste di una speciale tenuta a labirinto rettangolare con guarnizioni ad anello tra la camera di pompaggio e la camera del cuscinetto Inoltre, è installata una camera neutra con canali di raccolta della condensa. Facoltativamente, per ottenere un aumento della tenuta, è possibile flussare la camera neutra con gas di tenuta. Il motore incapsulato integrato assicura la tenuta dell'albero. In questo modo viene eliminato il contatto con l'atmosfera dell'albero, ed è tecnicamente possibile un aumento significativo del numero di giri.