Soffiatori a lobi
Soffiatore per vuoto
Soffiatore con motore incapsulato- serie HM
I soffiatori per vuoto con motore incapsulato AERZEN sono un tipo di soffiatori a lobi con accoppiamento ermetico, ideale per il trasporto di gas aggressivi e neutri. Questi sistemi per vuoto sono utili nella tecnologia dell'alto vuoto industriale grazie alla loro elevata potenza, affidabilità ed efficienza.
Portata:
406
-
15,570
m3/h
Vuoto:
10^-5
-
0
mbar
Mezzo aspirato:
Aria,
Gas neutri,
Gas aggressivi
Funzionamento:
oil-free
Vantaggi dei soffiatori con motore incapsulato AERZEN:
- Eccellente varietà con quattro versioni di motore
- Componenti per il vuoto altamente flessibili con direzione del flusso verticale e orizzontale
- Pompe ad alta resistenza meccanica (fino a 230 mbar per la versione HM)
- Basso consumo di azoto e acqua
- Riduzione dei tempi di svuotamento
Gas neutri o aggressivi? AERZEN offre soluzioni per entrambi!
I soffiatori per vuoto AERZEN con accoppiamento ermetico (HM) sono progettati per il trasporto di gas neutri e aggressivi e trovano particolare applicazione nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. I soffiatori per vuoto operano sempre in combinazione con una pompa ausiliaria*.
La pompa ausiliaria inizia a operare in atmosfera. Le pompe per vuoto vengono avviate a circa 50-200 mbar e la procedura di pompaggio inizia. A seconda dell'applicazione, come pompe ausiliarie vengono utilizzate pompe ad anello liquido, pompe per vuoto a palette a olio o pompe per vuoto a vite. Se sono provviste di inverter AERZEN e set di parametri speciali, è possibile utilizzare la pompa ausiliaria già a partire dalla pressione atmosferica.
Applicazioni
- Industria dei semiconduttori
- Microelettronica
- Produzione di schermi piatti
- Tecnologia laser
- Tecnologia solare
- Indicatori di perdite di elio
- Tecnologia chimica e di processo
- Rivestimento di vetro e lamine
- Costruzione di forni fusori
- Evacuazione dell'idrogeno
*In caso di utilizzo di soffiatore per vuoto AERZEN con motore incapsulato, è sempre necessaria una pompa ausiliaria aggiuntiva (azionamento HM).
US Units
No- Tecnologia
- Soffiatori a lobi
- Vuoto
- 10^-5 - 0 mbar
- Portata
- 406 - 15,570 m3/h
- Mezzo aspirato
- Aria, Gas neutri, Gas aggressivi
- Funzionamento
- oil-free
Soffiatore a lobi per la tecnologia dell'alto vuoto industriale
I soffiatori per vuoto AERZEN con accoppiamento ermetico (HM) sono progettati per il trasporto di gas neutri e aggressivi e sono utilizzati nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. Questa serie è caratterizzata da un elevato livello di affidabilità ed efficienza.
Versione HM per gas neutri e aggressivi:
con 10 misure nella versione HM, AERZEN copre anche la portata teorica in aspirazione compresa tra 406 m³/h e 15.570 m³/h. Panoramica dei vantaggi:
- Possibilità di scelta ottimale tra 4 diverse varianti di motore
- Elevata riduzione dei tempi di svuotamento
- Ideale per applicazioni in condizioni di camera bianca
- Ampio range di regolazione per mezzo di inverter, con parametri comprovati e adatti alle pompe per vuoto AERZEN
- Possibilità di direzione del flusso verticale e orizzontale
La ragione per cui i processi di produzione vengono ottimizzati da un elevato delta p.
I soffiatori AERZEN con azionamento HM riducono notevolmente i tempi di svuotamento, ottenendo così un aumento della capacità produttiva. Un grande passo verso l'ottimizzazione dei processi.
Progettazione e fabbricazione
Le pompe per vuoto AERZEN sono provviste di guarnizioni O-ring in corrispondenza delle flange del cilindro. Ulteriori importanti vantaggi dello stadio sono la perfetta tenuta in vuoto e il raffreddamento ad aria. La lubrificazione è del tipo a sbattimento. Come lubrificanti è possibile utilizzare olio minerale e olio PFPE, normalmente utilizzato nella tecnologia dei semiconduttori. Queste pompe per vuoto sono provviste di una speciale tenuta a labirinto rettangolare con guarnizioni ad anello tra la camera di pompaggio e la camera del cuscinetto Inoltre, è installata una camera neutra con canali di raccolta della condensa. Facoltativamente, per ottenere un aumento della tenuta, è possibile flussare la camera neutra con gas di tenuta. Il motore incapsulato integrato assicura la tenuta dell'albero. In questo modo viene eliminato il contatto con l'atmosfera dell'albero, ed è tecnicamente possibile un aumento significativo del numero di giri.
