Soplantes de desplazamiento positivo
Soplante de vacío
Soplante con motor en lata - Serie HM
Las soplantes de vacío con motor encapsulado AERZEN son un tipo de soplante de desplazamiento positivo que viene con un accionamiento herméticamente sellado ideal para el transporte de gases agresivos y neutros. Estos sistemas de vacío son útiles en la tecnología industrial de alto vacío debido a su gran potencia, fiabilidad y eficiencia.
Caudal volumétrico:
406
a
15,570
m3/h
Vacío:
10^-5
a
0
mbar
Medio:
Aire,
Gases neutros,
Gases Agresivos
Transporte:
exento de aceite
Las ventajas de las soplantes con motor encapsulado de AERZEN de un vistazo:
- Excelente variedad con cuatro variantes de motor
- Componentes de vacío altamente flexibles con dirección de flujo vertical y horizontal
- Alta resistencia mecánica (hasta 230 mbar para la serie HM)
- Bajo consumo de nitrógeno y agua
- Reducción de los tiempos de bombeo
¿Gases neutros o agresivos? AERZEN ofrece soluciones para ambos casos.
Las soplantes de vacío AERZEN con accionamiento hermético (HM) están concebidas para el transporte de gases neutros y agresivos y encuentran especial aplicación en la técnica industrial de alto vacío. Las soplantes de vacío operan siempre combinadas con una prebomba*.
Esta prebomba comienza a funcionar a presión atmosférica. La bomba de vacío se conecta normalmente a unos 50 a 200 mbar y comienza el proceso de bombeo. En función de la aplicación, como prebombas se emplean bombas de anillo líquido, bombas de vacío rotatorias de paletas o bombas de vacío helicoidales. Cuando se suministran con variadores de frecuencia de AERZEN y conjuntos de parámetros especiales, también se pueden operar haciendo que la prebomba comience a funcionar a presión atmosférica.
Aplicaciones
- Industria de semiconductores
- Microelectrónica
- Fabricación de pantallas planas
- Tecnología láser
- Tecnología solar
- Equipos de detección de fugas de helio
- Industria de procesos químicos
- Recubrimiento de láminas y vidrio
- Construcción de hornos de fusión
- Evacuación de hidrógeno
*Se necesita siempre una prebomba adicional (accionamiento HM) si se usa una soplante de vacío de AERZEN con motor encapsulado.
Unidades estadounidenses
No- Tipo de construcción
- Soplantes de desplazamiento positivo
- Vacío
- 10^-5 a 0 mbar
- Caudal volumétrico
- 406 a 15,570 m3/h
- Medio
- Aire, Gases neutros, Gases Agresivos
- Transporte
- exento de aceite
Soplante de desplazamiento positivo para tecnología de alto vacío industrial
Las soplantes de vacío AERZEN con accionamiento hermético (HM) están concebidas para el transporte de gases neutros y agresivos y se emplean en la técnica industrial de alto vacío. Esta serie se caracteriza por su gran eficacia y fiabilidad.
Versión HM para gases neutros y agresivos:
Con la serie HM, disponible en 10 tamaños, AERZEN también abarca unos caudales de succión teóricos de 406 m³/h a 15 570 m³/h. Resumen de las ventajas:
- Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos de motor
- Elevada y, por consiguiente, reducción notable de tiempos de bombeo de vacío
- Adecuados para aplicaciones en entornos de sala blanca.
- Amplio margen de control mediante variador de frecuencia con parámetros probados y adaptados a las bombas de vacío AERZEN
- Dirección del caudal tanto vertical como horizontal
La razón por la cual los procesos de fabricación se optimizan mediante un delta p elevado.
Las bombas de vacío AERZEN con accionamiento HM reducen considerablemente el tiempo de interrupción de la bomba, lo que se traduce en un aumento de la relación de rendimiento en la producción. Este es un gran paso hacia la optimización de procesos.
Diseño y construcción
Las bombas de vacío AERZEN con accionamiento HM están provistas de juntas tóricas en las bridas de la carcasa. Otras ventajas importantes de la fase soplante son su estanqueidad al vacío y la refrigeración por aire. El aceite de lubricación se suministra mediante lubricación por inmersión. Se puede emplear aceite mineral como lubricante, así como aceites PFPE, que se usan con frecuencia en la tecnología de semiconductores. Estas bombas de vacío están equipadas con un sello laberíntico especial de anillo rectangular entre la cámara de impulsión y la cámara de rodamientos. Se instala además una cámara neutra de grandes dimensiones con canales de condensación. La cámara neutra se puede purgar alternativamente con gas de sellado para conseguir un efecto de sellado mayor. El accionamiento hermético asegura el sellado del eje de transmisión. Por lo tanto, es posible suprimir un paso de eje a presión atmosférica, lo cual hace técnicamente posible alcanzar velocidades de rotación considerablemente mayores.
