Positive Displacement Blowers Vacuum Blower
with Pre-inlet Cooling

AERZEN blowers with canned drive are designed for the conveyance of neutral and aggressive gases and are especially used in the industrial high-vacuum technology. The direction of flow is vertical from top to bottom and the drive is effected through a narrow V-belt or a direct coupling.

Débit:
250 à 61.000 m3/h

Vide:
10 à 300 mbar

Fluide à véhiculer:
Air, Neutral Gases, Aggressive Gases

Transport:
exempt d'huile.

The advantages of AERZEN Vacuum Blowers at a glance:

  • High differential pressures (up to 800 mbar)
  • High reduction of compression discharge temperature
  • Excellent systems variety (largest series worldwide with 11 sizes available)
  • No additional controllers, valves, etc. are required for installation and operation
  • Ideal for continuous operation without the problem of overheating

Contact us

Le génie universel pour chaque application

Les suppresseurs AERZEN avec entraînement à bride sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et agressifs (version CM) et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Les surpresseurs à moteur à bride fonctionnent en association avec une pompe à vide préliminaire*. 
Cette pompe à vide préliminaire commence à fonctionner dans l’atmosphère. Le surpresseur à moteur à bride est habituellement raccordé à environ 50 à 200 mbars et la procédure de pompage commence. En fonction de l’application, on utilise, des pompes à anneau liquide, des pompes à vide à palettes, des pompes à vide à vis ou des surpresseurs comme pompe à vide préliminaire. Lorsqu’elles sont fournies avec des convertisseurs de fréquence AERZEN et des jeux de paramètres spéciaux, des pompes à vide préliminaire démarrant avec la pression atmosphérique peuvent aussi être utilisées.

Applications

  • Industrie des semi-conducteurs
  • Micro-électronique
  • Production d’écrans plats
  • Technologie laser
  • Technologie solaire
  • Unités de détection de fuites d’hélium
  • Technologie de traitement chimique
  • Revêtement par feuille et verre
  • Fabrication de fours de fusion
  • Évacuation de l’azote

*Une pompe à vide préliminaire supplémentaire (système en plusieurs étapes) est toujours nécessaire lorsque l’on utilise un surpresseur pour application en vide AERZEN avec entraînement à bride.

US Units

No
Type de conception
Positive Displacement Blowers
Vide
10 à 300 mbar
Débit
250 à 61.000 m3/h
Fluide à véhiculer
Air, Neutral Gases, Aggressive Gases
Transport
exempt d'huile.

Experts in vacuum: AERZEN blowers with pre-inlet cooling

For pre-inlet cooling the housing is equipped with an additional third socket on the suction side. The lube oil supply is effected by splash oil lubrication. The conveying chamber is sealed vacuum-tight by a sealing system. The driving shaft is sealed by double radial seal rings with grease barrier. Direction of flow vertical from top to bottom. Drive can be effected via a direct coupling or optionally via narrow V-belt (at limited differential pressure).

Special advantages of AERZEN mHV blowers:

  • Largest series worldwide with 11 sizes
  • In range rough vacuum as intermediate stage in multi-stage pump stands and alternatively also applicable as negative pressure stage against atmosphere
  • Suitable for high compression ratios in rough vacuum range up to p1/p2 = 5
  • Suitable for continuous operation without overheating problems
  • High reduction of the compression discharge temperature
  • No additional valves, controllers, etc. necessary

Information & documents

Brochure

Vacuum with pre-inlet cooling

Brochure

Brochure

Product overview

Brochure

Brochure

Accessories

Brochure