Drehkolbengebläse Vakuumgebläse
mit Voreinlasskühlung

AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und werden insbesondere in der industriellen Hochvakuumtechnik eingesetzt. Die Strömungsrichtung ist vertikal von oben nach unten und der Antrieb erfolgt über einen Schmalkeilriemen oder eine Direktkupplung.

Volumenstrom:
250 bis 61,000 m³/h

Vakuum:
10 bis 300 mbar

Fördermedium:
Luft, Neutrale Gase, Aggressive Gase

Förderung:
öl-frei

Die Vorteile der AERZEN Vakuum-Gebläse auf einen Blick:

Druckdifferenzen bis max. 800 mbar möglich
Hohe Reduzierung der Verdichtungsendtemperatur
Ausgezeichnete Systemvielfalt (weltweit größte Serie mit 11 lieferbaren Größen)
Keine zusätzlichen Ventile, Regler, etc. erforderlich
Geeignet für Dauerbetrieb ohne Überhitzungsprobleme

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UNIVERSALGENIES FÜR JEDE ANWENDUNG.

Die AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen (Ausführung HM) und aggressiven (Ausführung CM) Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Spaltrohrgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.
Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre. Das Spaltrohrgebläse wird klassisch bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen, Schraubenvakuumpumpen oder auch Gebläse zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.

Anwendungen:

Halbleiterindustrie
Mikroelektronik
Herstellung von Flachbildschirmen
Lasertechnologie
Solartechnik
Helium-Lecksuchanlagen
Chemie- und Verfahrenstechnik
Folien- und Glasbeschichtung
Schmelzofenbau
Evakuierung von Wasserstoff

*Beim Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit Spaltrohrmotor ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (Mehrstufensystem) erforderlich.

US-Maßeinheiten

Nein

Bauart: Drehkolbengebläse
Vakuum: 10 bis 300 mbar
Volumenstrom: 250 bis 61,000 m³/h
Fördermedium: Luft, Neutrale Gase, Aggressive Gase
Förderung: öl-frei

Experten für Vakuum: AERZEN Gebläse mit Voreinlasskühlung

Für die Voreinlasskühlung ist das Gehäuse mit einem zusätzlichen dritten Stutzen auf der Saugseite ausgestattet. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchölschmierung. Der Förderraum wird durch ein Dichtungssystem vakuumdicht verschlossen. Die Antriebswelle ist durch doppelte Radialdichtringe mit Fettsperre abgedichtet. Durchflussrichtung vertikal von oben nach unten. Der Antrieb kann über eine Direktkupplung oder optional über Schmalkeilriemen (bei begrenztem Differenzdruck) erfolgen.

Besondere Vorteile sprechen für den Einsatz AERZEN mHV Gebläse:

Größte Serie weltweit mit 11 Größen
Im Bereich Grobvakuum als Zwischenstufe in mehrstufigen Pumpenständen und alternativ auch als Unterdruckstufe gegen Atmosphäre einsetzbar
Geeignet für hohe Verdichtungsverhältnisse im Grobvakuumbereich bis zu p1/p2 = 5
Geeignet für Dauerbetrieb ohne Überhitzungsprobleme
Starke Reduzierung der Verdichtungsendtemperatur
Keine zusätzlichen Ventile, Steuerungen usw. erforderlich