Positive Displacement Blowers 带有预进气冷却装置的真空泵
带密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计,可用于输送中性和腐蚀性气体,特别适合应用于工业高真空技术。 气流方向自上而下垂直流动,通过窄 V 型皮带或直接联轴器完成驱动。
體積流量:
250
to
61,000
(单位:m3/h)
真空:
10
to
300
(单位:mbar)
介質:
空气,
中性气体,
腐蚀性气体
輸送:
無油式
AERZEN 真空泵优势一览:
- 压差大(最高可达 800 mbar)
- 显著降低压缩排气温度
- 出色的系统多样性(全球最全产品系列,共有 11 种规格)
- 安装和运行时无需额外的控制器、阀门等装置
- 适合于连续运行,而且不会造成过热问题
面向各类应用的全能型天才。
配有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机设计用于输送中性(HM 型)和腐蚀性(CM 型)气体,尤其适合于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机务必要与前级泵组合使用*。
该前级泵在大气压力条件下启动。 而密闭式电机鼓风机通常在约 50 至 200 mbar 时接入,然后开始抽真空流程。 视应用不同,还可将液环泵、旋片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机用作前级泵。 当配备 AERZEN 变频器并设定一组特殊参数时,也可与前级泵一起在大气压力条件下运行。
应用
- 半导体行业
- 微电子工业
- 平面屏幕制造
- 激光技术
- 太阳能技术
- 氦气检漏装置
- 化学工艺技术
- 箔纸和玻璃镀膜
- 熔炉制造
- 提氢
*当使用配有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空泵时,务必另配一台前级泵(多级系统)。
US Units
No- 結構形式
- Positive Displacement Blowers
- 真空
- 10 to 300 (单位:mbar)
- 體積流量
- 250 to 61,000 (单位:m3/h)
- 介質
- 空气, 中性气体, 腐蚀性气体
- 輸送
- 無油式
真空领域的专家: 带预进气冷却装置的 AERZEN 鼓风机
为了实现预进气冷却,壳体在进气侧新增了一个插口(原有两个,现为三个)。 润滑油供应采用溅油润滑实现。 利用一套密封系统完成输送室的真空密封。 传动轴由带隔油栏的两个径向密封环进行密封。 流动方向为纵向,自上而下。 驱动则通过直接联轴器或窄 V 型皮带来实现(在有限的压力差下)。
AERZEN mHV 系列鼓风机的特殊优势:
- 全球最全产品系列,共有 11 种规格
- 在适用范围内,粗略真空可作为多级泵座的中间级,亦可作为相对于大气压力的负压级
- 适合于高压缩比,在粗真空范围内最高可达 p1/p2 = 5
- 适合于连续运行,而且不会造成过热问题
- 显著降低压缩排气温度
- 无需其他的阀门、控制器等装置