Positive Displacement Blowers 带有预进气冷却装置的真空泵

带密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计,可用于输送中性和腐蚀性气体,特别适合应用于工业高真空技术。 气流方向自上而下垂直流动,通过窄 V 型皮带或直接联轴器完成驱动。

體積流量:
250 to 61,000 (单位:m3/h)

真空:
10 to 300 (单位:mbar)

介質:
空气, 中性气体, 腐蚀性气体

輸送:
無油式

AERZEN 真空泵优势一览:

  • 压差大(最高可达 800 mbar)
  • 显著降低压缩排气温度
  • 出色的系统多样性(全球最全产品系列,共有 11 种规格)
  • 安装和运行时无需额外的控制器、阀门等装置
  • 适合于连续运行,而且不会造成过热问题

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面向各类应用的全能型天才。

配有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机设计用于输送中性(HM 型)和腐蚀性(CM 型)气体,尤其适合于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机务必要与前级泵组合使用*。 
该前级泵在大气压力条件下启动。 而密闭式电机鼓风机通常在约 50 至 200 mbar 时接入,然后开始抽真空流程。 视应用不同,还可将液环泵、旋片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机用作前级泵。 当配备 AERZEN 变频器并设定一组特殊参数时,也可与前级泵一起在大气压力条件下运行。

应用

  • 半导体行业
  • 微电子工业
  • 平面屏幕制造
  • 激光技术
  • 太阳能技术
  • 氦气检漏装置
  • 化学工艺技术
  • 箔纸和玻璃镀膜
  • 熔炉制造
  • 提氢

*当使用配有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空泵时,务必另配一台前级泵(多级系统)。

US Units

No
結構形式
Positive Displacement Blowers
真空
10 to 300 (单位:mbar)
體積流量
250 to 61,000 (单位:m3/h)
介質
空气, 中性气体, 腐蚀性气体
輸送
無油式

真空领域的专家: 带预进气冷却装置的 AERZEN 鼓风机

为了实现预进气冷却,壳体在进气侧新增了一个插口(原有两个,现为三个)。 润滑油供应采用溅油润滑实现。 利用一套密封系统完成输送室的真空密封。 传动轴由带隔油栏的两个径向密封环进行密封。 流动方向为纵向,自上而下。 驱动则通过直接联轴器或窄 V 型皮带来实现(在有限的压力差下)。

AERZEN mHV 系列鼓风机的特殊优势:

  • 全球最全产品系列,共有 11 种规格
  • 在适用范围内,粗略真空可作为多级泵座的中间级,亦可作为相对于大气压力的负压级
  • 适合于高压缩比,在粗真空范围内最高可达 p1/p2 = 5
  • 适合于连续运行,而且不会造成过热问题
  • 显著降低压缩排气温度
  • 无需其他的阀门、控制器等装置

資訊與文件

手册

带预进气冷却装置的真空泵

手册

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产品概述

手册

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附件

手册

操作说明

真空旋转式活塞鼓风机台 [G4-014]

操作说明